洁净室设计常见问题解析及相关规范理解

洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。

无尘室的品质直接影响制造品质之因，无尘室在施工完毕后，需要经过哪些测试以验证其性能是否符合要求。

需经过洁净度、空气过滤器洩漏、高效过滤器表面风速、风向平行度、室内静压、温湿度、照度、噪音值、地板阻抗、回复能力、环境测漏、振动等测试验证。

洁净室人员净化和物料净化都是需要的。

洁净室保温，隔热，防火，防潮，少产尘等，送，回风管和其他管线暗敷时，应设置技术夹层。宜设置技术竖井，其形式，尺寸和构造应符合风道，管线的安装，检修和防火要求。平面布局和构造处理，应避免人流，物流运输及防火方面对洁净生产带来不利的影响。

洁净室地面应符合生产工艺要求。洁净室地面应平整，耐磨易清洗，不开裂，且不易积聚静电。

墙壁和顶棚表面宜平整，光滑，位于地下的技术夹层应采取防水或防潮，防霉措施。洁净室内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启，并应加设闭门器，无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。

洁净室门窗墙壁，顶棚等的设计应符合下列规定：

洁净室门窗墙壁顶棚地面及施工缝隙均应采取可靠的密闭措施。

当采用轻质构造顶棚做技术夹层时，夹层内宜设检修通道。

洁净室窗宜与内墙面齐平，不宜设窗台。

总体设计（位置选择和平面布局，人员净化和物料净化，噪声控制，微震控制）-空气净化（洁净室压差控制，气流流型和送风量，空气净化处理，采暖通风，防排烟，风管和附件）-给水排水（消防给水和灭火设备）-管道-电气（配电，照明，通信，自动控制，静电防火及接地）。